おはるさん、こんにちは。

＞そのパラメータファイルにNull文字を書き込む必要があるのですが、
＞char型の変数に\"~h00\"とセットして、Filewriteしてみたり、
＞string型の変数ににSetＮｕｌｌ関数でNull文字をセットしてFilewriteしてみたりと
＞考えられる範囲で書き込みに試みてみたのですが、書き込むことができません。

String型の変数を使っていませんか？
String型では、0x00が出てくるとそこから先のデータは切られます。
これは「Nullで終わる文字列ポインタ」として扱われているためです。

FileRead，FileWriteをはじめ、0x00を含むデータを扱いたい場合はすべてBlob型の変数を使います。
Blob変数を処理する関数がいくつかありますので、ヘルプなどで調べましょう。